Koje su komponente vakuumskog sistema?

Vakum sistem je kompletna industrijska oprema koja se sastoji od vakuum pumpe, PLC programskog upravljačkog sistema, rezervoara za skladištenje gasa, vakuumskog cjevovoda i drugih komponenti. Široko se koristi u poljima kao što su elektronski poluvodiči, moduli optoelektronskog pozadinskog osvetljenja, mašinska obrada, pakovanje hrane i medicinske laboratorije za održavanje stabilnog vakuumskog okruženja za podršku preciznim proizvodnim procesima.

 

Sistem usvaja modularni dizajn koji integriše kontrolu brzine pumpanja, ulaznu filtraciju, prikaz radnih podataka i interfejs za daljinsko upravljanje. Tokom-instalacije na licu mjesta, za rad su potrebni samo napajanje i priključak cijevi. Potpuno automatizovano upravljanje se postiže preko PLC sistema kontrole i dodirnog ekrana za ljude -mašine. Može se automatski prebacivati ​​između glavne i rezervne grupe pumpi (kao što su vijčane pumpe i Roots pumpe) kako bi se osigurao stabilan nivo vakuuma. Opremljen je automatskim isključivanjem u slučaju nestanka struje, preopterećenja motora i zaštitom od kratkog-spoja, te podržava sistem povrata vodonika radi poboljšanja sigurnosti i energetske efikasnosti.

 

U industriji poluprovodnika, vakuumski sistemi pružaju vakuum{0}}zapečaćenu putanju zraka za EUV litografiju, osiguravajući stabilan prijenos ekstremnog izvora ultraljubičastog svjetla. Koriste se i u kritičnim procesima kao što su PECVD premazivanje, vakuumsko suho nagrizanje i jonska implantacija, koji zahtijevaju zahtjeve za pumpanje u rasponu od čistih do teških radnih uvjeta i ultra-niskih standarda za čestice. Osim toga, sistem također može obezbijediti end{4}}to-rješenja za vakuum za proizvodnju fotonaponskih ćelija, konzerviranje hrane, medicinsku opremu i druge aplikacije.